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1.基于PZT厚膜的MEMS微变形镜
作者:许晓慧
授予学位:博士
学位授予单位:中国科学技术大学
学位年度:2008
2.大冲程高表面质量MEMS微变形镜实现技术的研究
作者:李开成
授予学位:硕士
学位授予单位:西北工业大学
学位年度:2007
3.MEMS微变形镜的系统级建模研究
作者:何洋
授予学位:硕士
学位授予单位:西北工业大学
学位年度:2005
4.MEMS-DMs设计与测试方法研究
作者:谢光安
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2006-04-19
5.基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正
作者:何向同
授予学位:硕士
学位授予单位:中国科学技术大学
学位年度:2009
6.基于MEMS技术的自适应光学微变形镜的设计与分析
作者:乔大勇
授予学位:硕士
学位授予单位:西北工业大学
学位年度:2003-02-01
7.基于自适应光学的激光输出特性的理论与实验研究
作者:周华东
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2008-06-01
8.MEMS-DMs特性测试技术及关键算法研究
作者:陈家凤
授予学位:博士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2008
9.微变形镜内腔补偿激光畸变研究
作者:李捷
授予学位:博士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2007
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