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1.一种压电陶瓷管扫描器的设计及其实验系统研究
作者:吴振广
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2012
2.压电陶瓷管扫描器非线性校正
作者:王丹丹
授予学位:硕士
学位授予单位:中国科学院电工研究所
学位年度:2004-06-10
3.微力传感器系统设计及在AFM中的应用研究
作者:宋志杨
授予学位:硕士
学位授予单位:大连理工大学
学位年度:2008
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