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1.
高质量简谐振子的研制
作者:
马广鹏
;
陈才和
;
唐东林
;
崔宇明
关键词:
MOEMS
;
简谐振子
;
优化设计
;
各向异性腐蚀
刊名:
传感技术学报
日期:2006-02-28
2.
硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计
作者:
张燕君
;
陈才和
;
吴波
;
崔宇明
;
马广鹏
关键词:
加速度计
;
M-Z干涉仪
;
光波导
;
结构设计
刊名:
光学精密工程
日期:2006-02-28
1
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2006年(2)
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