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工业技术(2)

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1.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究

作者：王涛龙

关键词：场不对称波形 ; 离子迁移谱仪 ; 物质分析仪 ; 微电子机械系统 ; 传感器芯片 ; 光刻掩膜版图

授予学位：硕士

学位授予单位：中北大学

学位年度：2016

2.小型化FAIMS仪器部分关键技术的初步研究

作者：李斌

关键词：痕量分析 ; 离子谱仪 ; 谱图辨识 ; 计算机技术

授予学位：硕士

学位授予单位：中北大学

学位年度：2015

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