[地质云]滑坡
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中图分类法(1)
工业技术(1)
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CNKI学位论文
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1
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1.
MEMS热电堆红外探测器的结构设计及制造研究
作者:
夏燕
关键词:
热电堆
;
红外
;
MEMS
;
IC兼容
;
XeF_2
干法释放
论文级别:
硕士
学位年度:2012
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