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1.
MEMS加速度传感器噪声分析
作者:
曲明哲
;
罗新恒
;
温瑞智
关键词:
MEMS传感器
;
MEMS加速度计
;
噪声分析
刊名:
地震工程与工程振动
日期:2014-12-15
2.
用于高冲击检测硅基三轴集成压阻式MEMS加速度芯片的建模与仿真
作者:
刘勐
;
张威
;
郝一龙
关键词:
压阻式加速度计
;
有限元软件
硅 ;
惯性力
;
惠斯登电桥
刊名:
传感技术学报
日期:2012-01-15
1
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