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1.
MEMS宽带电化学地震检波器
作者:
何文涛
;
陈德勇
;
王军波
;
张正宇
关键词:
微机电系统(MEMS)
;
电化学地震检波器
;
宽频带
;
Su-8绝缘层
刊名:
光学精密工程
日期:2015-02-15
2.
MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用
作者:
刘梦然
;
简泽明
;
张国军
;
张文栋
关键词:
微机电系统(MEMS)
;
MEMS矢量水听器
;
流固耦合
;
透声帽
;
谐振频率
;
频带
刊名:
光学精密工程
日期:2015-05-15
3.
用于高冲击检测硅基三轴集成压阻式MEMS加速度芯片的建模与仿真
作者:
刘勐
;
张威
;
郝一龙
关键词:
压阻式加速度计
;
有限元软件
硅 ;
惯性力
;
惠斯登电桥
刊名:
传感技术学报
日期:2012-01-15
4.
地震仪的发展历史及现状综述
作者:
陈瑛
;
宋俊磊
关键词:
地震仪
;
现状
;
激光多普勒
刊名:
地球物理学进展
日期:2013-06-15
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