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1.
平面电极型MEMS电化学地震传感器
作者:
王军波
;
龚黎明
;
陈德勇
;
何文涛
;
王鹏
;
陈健
关键词:
微机电系统
;
电化学地震传感器
;
平面电极
;
低频震动检测
刊名:
光学精密工程
日期:2015-03-15
2.
MEMS宽带电化学地震检波器
作者:
何文涛
;
陈德勇
;
王军波
;
张正宇
关键词:
微机电系统(MEMS)
;
电化学地震检波器
;
宽频带
;
Su-8绝缘层
刊名:
光学精密工程
日期:2015-02-15
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