TFT-LCD厂房防微振系统的数值仿真研究

英文篇名：Simulation Study on Micro-Vibration-Proof System for TFT-LCD Fab
中文刊名：工程建设与设计
英文刊名：Construction & Design for Project
作者：郑佳明 ; 杨光明 ; 李卫 ; 黄文胜 ; 张建润
英文作者：ZHENG Jia-ming1 ; YANG Guang-min 1 ; LIWei1 ; HUANG Wen-sheng1 ; ZHANG Jian-run2(1.China electronics engineering design institute ; Beijing 100840 ; china ; 2.Southeast university ; Nanjing 210096 ; China )
中文关键词：微振动 ; 多体动力学 ; 模态综合法 ; 显式动力学
英文关键词：micro-vibration ; multi-body dynamics ; modal synthesis method ; explicit dynamics
出版日期：2008-10-20
机构：中国电子工程设计院;东南大学;
年：2008
期：10
出版单位：工程建设与设计

摘要

结合有限元理论和多体动力学理论,创新的提出了一种振动系统的精确计算方法,并在TFT厂房设备隔振中进行了工程实践,经随机振动数据采集分析,该方法对于精密设备的隔振设计具有指导意义。
An accurate computation method for vibration system was advanced in this paper using the Finite Element and Multi-body Dynamics theory.The design of vibration isolation system for TFT equipment was also analyzed using this computation method.With the analysis of the sampled data the proposed method was proved effective to the vibration isolation system design for precise equipment.

引文

【1】郑佳明.高架桥式五自由度龙门机床的动力学仿真[D].南京:东南大学,2006.
    【2】Mraz Stephen J.Rubber spring and beyond[J].Machine design.1998,70(8):86.
    【3】洪嘉振.计算多体系统动力学[M].北京:高等教育出版社,1997.
    【4】黄文虎,等.多柔体系统动力学[M].北京:科学技术出版社,1997.
    【5】胡志强.随机振动试验应用技术[M].北京:中国计量出版社,1996.
    【6】周福霖.工程结构减震控制[M].北京:地震出版社,1997.