基于微机电的速度型地震传感器技术仿真

英文篇名：Emulation of MEMS velocity seismometer technology
中文刊名：地震地磁观测与研究
英文刊名：Seismological and Geomagnetic Observation and Research
作者：马洁美 ; 滕云田 ; 王喜珍 ; 王晓美 ; 周鹤鸣
英文作者：Ma Jiemei ; Teng Yuntian ; Wang Xizhen ; Wang Xiaomei and Zhou Heming Institute of Geophysics ; China Earthquake Administration ; Beijing 100081 ; China
中文关键词：微机电 ; 地震传感器 ; 仿真
英文关键词：MEMS ; seismometer ; emulation
出版日期：2006-04-25
机构：中国地震局地球物理研究所,中国地震局地球物理研究所,中国地震局地球物理研究所,中国地震局地球物理研究所,中国地震局地球物理研究所,
年：2006
期：02
出版单位：地震地磁观测与研究

摘要

随着微机电技术的广泛应用,开发微型化的新型地震计成为发展趋势。本文分析了微机电速度型地震传感器的基本原理,根据实际需求,用multisim软件对微机电速度型地震传感器的加速度／速度积分电路的电路特性进行仿真,并提出了微机电速度型地震传感器的实现方法。
With the fast development and wide application of MEMS ( Micro Electro-Mechanical Systems), it shows a tendency to develop new micro-seismometers. In this paper, we aim at analyzing the basic principles of MEMS velocity seismometer, and emulating the integral circuit that can convert acceleration to velocity with MULTISIM software to meet actual demand. A method to actualize MEMS velocity seismometers is also provided.

引文

董景新等．2003．微惯性仪表—微机械加速度计[M]．北京:清华大学出版社
    黄智伟．2004．基于Multisim 2001的电子电路计算机仿真设计与分析[M]．北京:电子工业出版社
    林忠华,胡国清,刘文艳,张惠杰．2005．微机电系统的研究与展望[J]．微电子学,35(1)
    赵健祥．2001．微加速度计强韧控制之探讨[C]．台湾国立中山大学机械工程研究所硕士论文