摘要
为有效控制洁净室污染,具体介绍空气锁的设计特点:1.有良好的足够的有组织的空气洁净条件;2.有强制性的带延迟时间控制的出入口互锁装置;3.有设施强制保证最小通过时间;4.能维持一定的压差。提供KCS符合欧共体标准的空气锁实例,论证空气锁的主要设计参数应为满足空气洁净度要求的换气次数。
引文
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