一种结构新颖的地震动加速度计

英文篇名：A Novel Seismic Accelerometer
中文刊名：微纳电子技术
英文刊名：Micronanoelectronic Technology
作者：任勇峰 ; 王晓丽
英文作者：REN Yong-feng ; WANG Xiao-li (National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology ; North University of China ; Taiyuan 030051 ; China)
中文关键词：电容式加速度计 ; 低g值 ; 微机电系统 ; 自检测功能
英文关键词：capacitive accelerometer ; low g ; MEMS ; self-testable function
出版日期：2007-03-15
机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051,太原030051
年：2007
期：03
出版单位：微纳电子技术

摘要

对比典型的差动电容结构,设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g(g=9.8m/s~2,当地重力加速度)值加速度计,指标为量程0～±2g,横向灵敏度<3%。利用有限元分析软件对模型进行了静态应力分析和模态分析,并给出了接口电路和自检测功能原理。最后设计了一套可行的加工工艺。
Compared with the classical differential structure,a low g capacitive accelerometer with fold-beam mass was designed. Measuring range was 0～±2g,transverse sensitivity was less than 3%. The static stress and modal properties for the model were analyzed by ANSYS. The priciples of interface circuit and self-testable function were given. Finally,the processing method of the accelerometers was designed.

引文

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