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1.基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究
作者：徐胜
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2017
2.纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制
作者：李庆贤
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2014
3.计量型扫描电镜的测量与控制系统设计研究
作者：张瑞军
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2016
4.用于线宽测量的双探针原子力显微镜系统研究
作者：刘雷华
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2015
5.基于激光干涉仪的微弱声信号检测方法研究
作者：王笑寒
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工程大学
学位年度：2014
6.用于超光滑表面的多光束干涉显微测头的研究
作者：边文宾
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2012
7.压电陶瓷微位移驱动控制技术研究
作者：单博
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2010
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