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1.基于电流控制的阳极键合工艺方法及实验研究
作者：陆春意
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2015
2.附壁射流无阀压电微泵流固耦合建模
作者：张习同
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏大学
学位年度：2016
3.应用于CPT原子钟的微型铷腔的微加工研究
作者：陈友鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2014
4.激光冲击波驱动无阀微泵的研制
作者：夏俊超
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2013
5.MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究
作者：游侠飞
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
6.一种MEMS微型气相色谱分离柱的性能优化
作者：王力
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2012
7.原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究
作者：刘鑫
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2008
8.硅基电容式三轴加速度传感器研究
作者：王守明
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2010
9.相干布局数囚禁原子钟微型化研究
作者：张廷凯
授予学位：博士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2009
10.电容式微机械加速度计的研究
作者：曹学成
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2007
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