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1.质谱仪通用规范
标准编号：GB/T 33864-2017
标准类型：国家标准
发布日期：2017-07-12
实施日期：2018-02-01
2.光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
标准编号：GB/T 29849-2013
标准类型：国家标准
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
3.酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
标准编号：GB/T 24582-2009
标准类型：国家标准
发布单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
4.质谱检漏仪
标准编号：GB/T 13979-2008
标准类型：国家标准
关键词：氦 ; 质谱仪 ; 检漏仪
发布单位：全国工业过程测量和控制标准化技术委员会分析仪器分技术委员会(SAC/TC 124)
发布日期：2008-07-28
实施日期：2009-02-01
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