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万方学术会议(43)万方学位论文(207)
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1.基于DLP应用的光刻物镜设计与微型投影机光学系统研究
作者：邝健
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2016
2.光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究
作者：邱巨成
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2016
3.光学表面离子束加工的材料去除机理及表面演变机制研究
作者：梁晓
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2016
4.基于Su-8光刻胶的微透镜及阵列的研究
作者：边锐
授予学位：硕士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2015
5.步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者：李维佳
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
6.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
作者：王涛龙
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2016
7.全息反应离子束制作小阶梯光栅
作者：董圣为
授予学位：硕士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2016
8.投影式振镜扫描激光刻蚀控制算法及工艺研究
作者：柯善浩
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2014
9.全自动激光刻印机的研究与应用
作者：程梓轩
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2014
10.光刻投影物镜动镜柔顺定位机构模型修正及分析
作者：张衍林
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2014
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