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1.大位移低电压的静电斥力微驱动器的设计与仿真研究
作者：于洋
授予学位：硕士
学位授予单位：太原理工大学
学位年度：2016
2.基于气压驱动的宏/微二维进给位移台的关键技术研究
作者：王康
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏科技大学
学位年度：2016
3.基于Labview的宏微位移检测系统构建与分析
作者：靖文
授予学位：硕士
学位授予单位：华南农业大学
学位年度：2016
4.5-DOF光栅拼接并联装置的优化设计与实验验证
作者：张文辉
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
5.硅基微驱动器的建模与分析
作者：山磊
授予学位：硕士
学位授予单位：西安电子科技大学
学位年度：2013
6.基于压电纤维的微驱动器特性研究
作者：程学亮
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏大学
学位年度：2015
7.硅基微驱动器的建模与分析
作者：山磊
授予学位：硕士
学位授予单位：西安电子科技大学
学位年度：2013
8.基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
作者：赵冬伟
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
9.伺服阀阀芯节流工作边亚微米级精密磨削装置的研究
作者：张耀祖
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
10.光控微镜用PLZT陶瓷执行器的驱动与控制研究
作者：陆飞
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
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