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中图分类法(11)

工业技术(11)

在“CNKI学位论文”中，命中：11条，耗时：0.0319836 秒

1.接近式光刻仿真研究

作者：李木军

关键词：接近式紫外光刻 ; 部分相干光 ; 霍普金斯公式 ; 图形失真 ; 仿真

论文级别：博士

学位年度：2007

2.计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究

作者：喻洪麟

关键词：计量圆光栅 ; 原理 ; 制造及检测技术 ; 光电传感器

论文级别：博士

学位年度：2003

3.紫外光刻仿真及掩模优化设计研究

作者：李晓光

关键词：接近式光刻 ; 光刻仿真 ; 深度光刻 ; 掩模优化 ; 遗传算法

论文级别：博士

学位年度：2007

4.基于奥林巴斯PROTECH2.5D软件平台的Canon光刻机线宽优化

作者：尚峰

关键词：半导体 ; 光学光刻 ; 接触式曝光 ; 光刻工艺 ; 线宽

论文级别：硕士

学位年度：2010

5.接近式曝光图形复制的计算机辅助分析与工艺优化

作者：王友旺

关键词：接近式光刻 ; 图形失真 ; 间隙设定 ; 光刻线宽

论文级别：硕士

学位年度：2010

6.基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究

作者：刘韧

关键词：接近式光刻 ; 光刻仿真 ; 掩模优化 ; 曝光模型 ; 后烘模型

论文级别：博士

学位年度：2010

7.基于模拟退火算法的接近式紫外光刻误差修正的研究

作者：潘攀

关键词：UV-LIGA ; 接近式光刻 ; 掩模版 ; 波前分割 ; 模拟退火算法

论文级别：硕士

学位年度：2010

8.高隔离度射频微机电开关的研究

作者：林玲玲

关键词：微机电开关 ; 高隔离度硅 ; 制造工艺

论文级别：硕士

学位年度：2008

9.厚胶光刻技术研究

作者：刘世杰

关键词：厚层光致抗蚀剂 ; 光刻 ; 曝光 ; 非线性 ; 统计方法 ; 模拟

论文级别：硕士

学位年度：2004

10.Invar 36合金的加工性及低应力加工工艺

作者：乔玉鹏

关键词：Invar ; 36合金 ; 加工性 ; 表面完整性 ; 残余应力 ; 低应力加工

论文级别：博士

学位年度：2010

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