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2.双酚A型光刻胶的极紫外光刻研究
论文作者：王亮乾 ; 许箭 ; 王双青 ; 杨国强
论文关键词：光刻胶 ; 极紫外光刻 ; 光刻工艺
会议召开时间：2016-07-01
4.软受限下薄膜层状相取向竞争的研究
论文作者：宋俊清 ; 刘一新 ; 张红东
论文关键词：薄膜 ; 层状相 ; 软受限 ; 高分子刷 ; 自洽场
会议召开时间：2016-08-25
5.基于线性规划的光刻机光源优化方法
论文作者：王磊 ; 李思坤 ; 王向朝 ; 杨朝兴
会议召开时间：2016-09-25
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