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万方学术会议(1)万方学位论文(34)
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在所有数据库中总计命中：35条

1.基于剪切型压电陶瓷的二维精密平台研究
作者：李海洋
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
2.步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者：李维佳
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
3.高档数控机床动态性能的测试方法与工程应用研究
作者：金翔
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
4.基于坐标测量的石英音叉测头误差分析及标定
作者：曾婷
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2015
5.差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量方法研究
作者：王斌
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2015
6.高精度平面光栅干涉仪的设计与研究
作者：吴亚风
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
7.基于模型库的超精密减振系统设计软件的开发
作者：陈改平
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2014
8.智能化高精度小位移测量仪研制
作者：马昊新
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2014
9.流阻差型无阀压电泵的原理与试验研究
作者：黄俊
授予学位：博士
学位授予单位：南京航空航天大学
学位年度：2013
10.光栅刻划机系统辨识及温度影响研究
作者：汪静姝
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2013
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关键词(3)
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