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CNKI学位论文
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1.
飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究
作者：
郭锐
关键词：
双光子加工
;
飞秒激光
;
微细加工
;
微系统
;
纳米小孔
;
纳米加工
论文级别：
博士
学位年度：2008
2.
二维电子倍增器及其新技术研究
作者：
高延军
关键词：
微通道板
;
微加工
;
硅电化学
;
大孔硅
;
深通道阵列
;
微球板
论文级别：
博士
学位年度：2008
3.
用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用
作者：
张力
关键词：
约束刻蚀剂层技术
;
电化学湿印章技术
;
半导体
;
金属
;
微光学元件
;
细胞阵列
论文级别：
博士
学位年度：2008
4.
纳秒脉宽脉冲
电化学微加工
机床关键技术研究
作者：
罗红平
关键词：
微细加工
;
电化学微加工
;
超短脉冲
;
柔性回转轴承
;
主轴系统
;
微型化
;
回转精度
;
电火花线切割
论文级别：
博士
学位年度：2009
5.
激光
电化学微加工
机理与实验研究
作者：
龙芋宏
关键词：
MEMS
;
热-力效应
;
激光
;
电化学刻蚀
;
实验研究
论文级别：
博士
学位年度：2007
6.
多孔硅的制备及其润湿性研究
作者：
刘珂
关键词：
多孔硅
;
刻蚀
;
液态金属
;
电润湿
论文级别：
硕士
学位年度：2012
7.
微细工具电极在线制备装置开发及加工技术的研究
作者：
郭帅
关键词：
微细电火花
;
反拷块
;
线电极放电磨削
;
伺服控制系统
论文级别：
硕士
学位年度：2012
8.
约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究
作者：
蒋利民
关键词：
约束刻蚀剂层技术
;
微纳米结构
;
三维微加工
;
微机电系统
;
金属
论文级别：
博士
学位年度：2007
9.
基于激光干涉技术的微纳结构制造研究
作者：
黄金堂
关键词：
激光干涉技术
;
微纳结构
;
偶氮苯聚合物
;
光致质量迁移
;
电场梯度力
;
织态结构
;
轴对称偏振光
论文级别：
博士
学位年度：2011
10.
电子束液态曝光技术的研究
作者：
孔祥东
关键词：
电子束
;
曝光
;
抗蚀剂
;
微结构
;
固化
论文级别：
博士
学位年度：2005
1
2
3
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