作者：郧建平

关键词：表面形貌测量 ; 白光干涉技术 ; Linnik干涉显微镜 ; 非接触式测量 ; 接触式测量 ; 误差分析 ; 标定

论文级别：博士

学位年度：2008

作者：李宁

关键词：纳米测量 ; 线边缘粗糙度 ; 原子力显微镜 ; 特征提取 ; 多尺度分析 ; 测量误差

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：袭荣刚

关键词：雄黄 ; 纳米颗粒 ; 球磨 ; 正交设计 ; 扫描电镜 ; 激光光散射 ; 原子力显微镜 ; 粒度 ; 凋亡 ; caspase-3 ; PI3-K ; Akt ; SIRT1 ; p53

论文级别：博士

学位年度：2008

作者：胡振江

关键词：微结构 ; 原子力显微镜 ; 机械刻划加工 ; 刻划深度检测 ; 刻划深度控制

论文级别：博士

学位年度：2007

作者：权哲浩

关键词：压电微动台 ; 纳米技术 ; 有限元分析 ; 结构设计 ; 正交实验

论文级别：博士

学位年度：2007

作者：王淑珍

关键词：超精密表面测量 ; 原子力探针扫描 ; 白光显微干涉 ; 数据融合接触工作方式 ; 非线性误差修正 ; 纳米驱动系统 ; 激光干涉位移计量系统

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：张冬仙

关键词：纳米技术 ; 原子力显微镜 ; 卧式 ; 微悬臂(探针) ; 分辨率 ; 灵敏度 ; 光束偏转法 ; 原子力预设置点 ; PID反馈控制 ; 压电陶瓷非线性校正 ; AFM应用 ; 光压作用 ; 重力影响

论文级别：博士

学位年度：2004

作者：林晓峰

关键词：纳米技术 ; 纳米计量 ; 双成像单元原子力显微镜 ; 可溯源 ; 标准样品 ; 待测样品 ; 扫描 ; 比较 ; 光束偏转法 ; 序列图像 ; 拼接 ; 非线性校正 ; 误差分析 ; 系统优化

论文级别：博士

学位年度：2006

作者：王生怀

关键词：区域表面结构 ; 非接触测量 ; 特征评定 ; 无缝拼接 ; 3D-Motif

论文级别：博士

学位年度：2009

作者：刘超

关键词：MOEMS ; 微驱动技术 ; 光热膨胀效应 ; 线性变形体系 ; 热学模型 ; 结构力学模型 ; 虚功原理 ; 光热驱动控制 ; CCD显微观测 ; 准分子激光微加工 ; 微型光热驱动机构 ; 光热微驱动器 ; 光热微动台 ; 光热驱动马达 ; 光热偏转 ; 光热运动 ; 静态和动态响应

论文级别：博士

学位年度：2010