MEMS加速度传感器开发及在地球物理勘探中的应用

英文篇名：Development of MEMS acceleration sensor and application in geophysical exploration.
中文刊名：勘探地球物理进展
英文刊名：Progress in Exploration Geophysics
作者：王辉明 ; 宋志翔 ; 马国庆
英文作者：Wang Huiming.Institute of Geophysical Prospecting.SINOPKC Research Institute of Petroleum Exploration and Production.Nanjing 210014 ; China Song Zhixiang. Ma Guoqing.
中文关键词：MEMS ; 加速度传感器 ; 检波器
英文关键词：micro-electromechanical system ; acceleration sensor ; geophone
出版日期：2005-06-25
机构：中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所,中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所,中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所江苏南京 210014 ,江苏南京 210014 ,江苏南京 210014
年：2005
期：03
出版单位：勘探地球物理进展

摘要

以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。采用国产MEMS加速度传感器,试验性地将其应用于地球物理勘探。设计和制作了进行室内测试的专用振动台及测试软件,建立了一套测试和分析其性能和各项技术指标的方法,并在野外与传统检波器进行了实际生产对比试验,结果表明国产MEMS加速度传感器在石油勘探中具有广阔的应用前景。
MEMS-based acceleration sensors greatly improve the performances of seismic geophones. With proprietary micro-electromechanical system, we developed MEMS-based acceleration sensor and applied it to pilot geophysical exploration. Special indoor vibration platform and software were designed and developed. A suite of methods was developed to test and analyze the performances of MEMS-based acceleration sensors.The MEMS-based acceleration sensors have been put into pilot test and were compared with traditional geophones.

引文

1 Maxwell P W, Burch D N, Criss C J. Principles behind vector acquisition[J]. Expanded Abstracts of 74th Annual Internat SEG Mtg, 2004, 1-4
    2刘光林,刘泰生,高中录,等．地震检波器的发展方向 [J]．勘探地球物理进展,2003,26(3):178-185
    3宁靖,吕公河,吴学兵,等．布拉格光栅检波器在地震勘探中的应用前景[J]．勘探地球物理进展,2004,27(6): 440-443
    4贾志新,李勤学,金抒辛．新型正交型三分量检波器的研制及现场试验[J]．长春科技大学学报,2001,31(4): 412-414
    5徐泰然．MEMS和微系统——设计与制造[M]．王晓浩,冯焱颖,熊继军,等译．北京:机械工业出版社, 2004．1-32
    6李德胜,王东红孙,金玮,等．MEMS技术及其应用 [M]．哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2002．1-305
    7董景新．微惯性仪表——微机械加速度计[M]．北京: 清华大学出版社,2003．1-310
    8李淑清,陶知非．未来地震检波器理论分析[J]．物探装备,2003,152-156
    9 Mougenot D. How digital sensors compare to geo phones? [J]. Expanded Abstracts of 74th Annual Internat SEG Mtg, 2004, 5-8