高质量简谐振子的研制

英文篇名：Research and Fabrication of Harmonic Oscillator with High Quality
中文刊名：传感技术学报
英文刊名：Chinese Journal of Sensors and Actuators
作者：马广鹏 ; 陈才和 ; 唐东林 ; 崔宇明
英文作者：MA Guang-peng ; CHEN Cai-he ; TANG Dong-lin ; CUI Yu-ming Key Laboratory of Opto-electronic Information Technical Science ; College of Precision Instrument and Opto-electronics Engineering ; Tianjin University ; Tianjin 300072 ; China
中文关键词：MOEMS ; 简谐振子 ; 优化设计 ; 各向异性腐蚀
英文关键词：MOEMS ; harmonic oscillator ; optimum design ; anisotropic etching
出版日期：2006-02-28
机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室,天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,,天津300072,天津300072,天津300072,天津300072
年：2006
期：02
出版单位：传感技术学报

摘要

介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素,在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进,制作出了高质量的简谐振子。成功用于国家自然科学基金项目“光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究”的集成光学器件试验中。
The principle of operation and the design of the harmonic oscillator is introduced, the factors influencing the anisotropic etching quality of the harmonic oscillator are analyzed. In experiment, the fabrication technology was studied and improved, by which the high quality harmonic oscillator has been successfully fabricated. It has been applied in the integrated optical chip of "the theory and experiment research of photoelectric integrated acceleration seismic geophone technology "-a program supported by the National Nature Science Foundation of China.

引文

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