激光干涉仪测量失真正弦波形位移误差估计式

英文篇名：Error Evaluation Formula of Measuring Harmonic Distortional Sine Wave's Amplitude with Laser Interferometer
中文刊名：仪器仪表学报
英文刊名：Chinese Journal of Scientific Instrument
作者：魏燕定
英文作者：Wei Yanding (The State Key Lab. of FPTC ; Inst. of Prod. Eng. ; Zhejiang Uni. ; Hangzhou 310027 ; China)
中文关键词：激光干涉仪 ; 误差估计 ; 标准振动台 ; 失真波形
英文关键词：Laser interferometer Error evaluation Standard vibrator Distortional wave
出版日期：2001-04-20
机构：浙江大学机械系生产所流体传动及控制国家重点实验室!杭州310027
年：2001
期：02
出版单位：仪器仪表学报

摘要

本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上 ,指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中 ,激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移 ,因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式 ,对准确评价传感器校准精度具有重要意义 ,同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。
In this paper, the principle of measuring displacement using laser interferometer is introduced. Then, it is pointed out that which measured by laser interferometer is not its vector displacement in the primary vibration calibration system but the work table's distance. Therefore, the measuring principle error is analyzed for harmonic distortional sine wave with it. A new error evaluation formula is presented and proved with wave's acceleration distortional coefficient. The result is important for appraising calibration precision of vibration transducers, and it can also helps to acquired measuring precision of laser interferometer.

引文

1　周纶彬 .激光干涉法一次振动校准的方法误差评判 .计量学报 ,1990 ,15 (2 ) :140～ 144 .
    2　童忠钫 .0 1～ 5 0 0Hz低频校振振动台研制 .试验机与材料试验 ,1981,(3) :39～ 47.
    3　贾叔仕 ,邹冬冬 .地震计量用标准振动台技术总结 .强度与环境 ,1994,(3) :46～ 6 1.
    4　RobertS .Koyanagi.Developmentofalow frequency vibra tionCalibrationSystem .ExperimentalMechanics,1975 ,(11) :44 3～ 44 8.
    5　石神民雄 ,白石坚司 .低周波领域における振动加速度计の绝对校正 .精密工学会志 ,1991,5 7(7) :[JSPE— 5 7—0 7].
    6　吴震 ,等编著 .光干涉测量技术 .中国计量出版社 ,1995 .
    7　魏燕定 .超低频标准振动台若干关键技术研究 :[博士学位论文 ].杭州 :浙江大学 ,1998.
    8　INTERNATIONALSTANDARD .Methodsforthecalibra tionofvibrationandshockpickupsISO 5 34 7:1993(E) .
    9　王原俭 .均值电压表的信号失真误差 .宇航计测技术 ,1983,(1) :11～ 2 2 .