力平衡加速度传感器设计分析
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摘要
介绍了差容式力平衡加速度传感器的工作原理,推算了该传感器的运动方程,并推导出力平衡加速度传感器的自振频率、阻尼参数、幅频响应的计算公式,得出了传感器中质量块质量m、比例电阻R、微分电容C直接决定传感器的自振频率、频带宽度和传感器的输出灵敏度。
Principle of force balance accelerometer based on differential capacitance is introduced.Movement function of accelerometer is calculated,and three key specifications of accelerometer,natural frequency,damp and amplitude response,lie on three components.The three components are mass m,proportional resistance R,differential capacitance C.Natural frequency,bandwidth,output sensitivity of accelerometer are determined by the three components.
引文
[1]大崎顺彦.振动理论[M ].北京:地震出版社,1990.1-95.
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