微型X射线源关键技术研究
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摘要
利用元素特征X射线这一物理性质而研制的便携式X荧光分析仪器在国内外众多领域得到了广泛推广应用。微型X射线源是便携式X荧光分析仪器的关键部件之一。目前，商品化的便携式荧光分析系统中，基本采用国外陶瓷工艺封装的X射线源，其内部结构和制作工艺均保密。国内研制的X射线源主要面向无损探伤、医学成像等应用领域，针对便携式荧光分析应用场合，除了对X射线源稳定性要求极高以外，对体积、功耗、效率以及响应速度均提出了更高的要求。
本文研究工作来源于863计划“资源环境技术领域”课题“高精度射线探测仪器研发”（课题编号：2012AA061803）。针对直热式陶瓷封装端窗阳极结构微型X射线源的内部结构进行理论分析和仿真计算，并在此基础上开展实物设计和实验研究，论文的主要工作和成果有：
1.设计并研制了一种新的金属陶瓷封装微型X射线源，打破了国外的技术封锁，为我国便携式X射线荧光分析提供了新型X射线激发源。
2.通过国内外调研和同类产品的解析，确立了微型X射线源的结构组成和设计工艺流程。微型X射线源电子发射系统采用热发射方式，电子束聚焦采用静电聚焦方式，阳极采用端窗透射结构，管体为陶瓷结构封装。
3.针对微型X射线源各部件开展基础理论研究，为实物设计提供理论依据。
(1)采用发射电流相对偏差为指标对阴极发射体发射电流的均匀性进行评价，得到了灯丝温度延阴极方向的分布规律。这为灯丝的结构设计提供了理论参考。
(2)提出采用维丁顿公式计算微型X射线源靶材平均厚度的思路，得到了不同能量电子束轰击不同材料靶材时的平均厚度值。从理论上证明了微型X射线源靶材平均厚度在1-5μm之间。
(3)从理论推导和蒙特卡罗模拟验证两方面，得到了出射特征X射线的最大强度出现在与阳极表面夹角成1~4o方向上的结论。这对于X射线源的结构设计和出射X射线的单色化应用具有一定的理论指导意义。
4.将EDA技术引入微型X射线源结构设计中，开展了管体电子运动学仿真设计。利用CST粒子工作室软件建立了微型X射线源仿真模型，对X射线源内部电场、电势分布、电子运动轨迹以及发射电流等进行了仿真分析，得到了电子束焦斑形状、阳极电荷密度分布、电子能量以及电子运动速度的变化规律和发射电流值，对各部件的结构参数进行了扫描和优化计算。结果表明：采用静电聚焦方式实现电子束运行轨迹控制可行，电子最大运动速度可达1.2×10~8m/s，电子的加速主要在屏蔽罩和阳极罩之间极短的空间内进行，中心最大电荷密度可达3×10~(-8)C/m~3以上，灯丝发射电流可达50μA以上。
5.利用CST多物理场工作室和粒子工作室软件进行协同仿真设计，对射线源管体、阴极、阳极、外壳等表面稳态温升进行了研究。结果表明：微型X射线源热源主要集中在以灯丝为中心的阴极附近，外壳最高温度为59℃，阳极靶中心最大热损耗功率密度为2.9×10~8W/m~3，最高温度为44℃左右，满足设计要求。
6.开展了微型X射线源实物的设计、制作和性能测试。实验表明：试制的微型X射线源最大发射电流达到80μA以上，发射X射线光谱分布与国外同类产品基本相同，采用直热式阴极结构能够满足微型X射线源的应用需求。
Portable X-ray fluorescence analysis instruments,which is based on elementscharacteristic X-ray physical properties,has been widely used in many areas and fieldsat home and abroad.Miniature x-ray source is one of the key components of theportable X-ray fluorescence analysis instrument. Commercial portable fluorescenceanalyzer, basically using the the foreign ceramic craft package x-ray source, theinternal structure and fabrication process are confidential. Domestically producedx-ray source oriented to the field of non-destructive testing, medical imagingapplications. The portable fluorescence analysis applications,have raised higherrequirements for the X-ray source stability, size, power consumption, efficiency andspeed of response
This paper studies comes from a863plan resources in the field of environmentaltechnology topics “high-precision ray detection equipment R&D "(Project No.:2012AA061803). Physical design and experimental studies are carried out on thebasis of Theoretical analysis and simulation of the internal structure for the directthermal ceramic package end window anode structure of miniature X-ray source. Thework and achievements of the papers are as follows:
1. Designed and developed a new metal ceramic package miniature X-raysource,which has broke the blockade of foreign technology, provides a new type ofX-ray excitation source of portable X-ray fluorescence analysis.
2. Established the structure and designing technological process of the miniatureX-ray source by domestic and international research and parsing similar products. Forthe miniature X-ray source,the electron emission system is thermal emission,theelectron beam focusing is electrostatic focusing,the anode is end windows transmissionstructure, and the package is ceramic structure.
3. Fundamental research to provide a theoretical basis for the physical design hascarried out for the components of the micro X-ray source.
(1) The emission current relative deviation as an index to evaluate the uniformityof emission current of the cathode emitter, and obtain the cathode filament temperaturedistribution rule. This provides a theoretical reference for the filament structural design.
(2) The ideas proposed using Eddington formula to calculate the averagethickness of the miniature X-ray source target,and obtain the different material target’saverage thickness value bombarded by different energy electron beam. Theoreticallyproved that the miniature X-ray source target average thickness of1-5μm.
(3) Theoretical analysis and Monte Carlo simulations verify that the maximumintensity of the emission characteristic X-ray in the direction of the angle between thesurface of the anode into1~4o. This has certain theoretical significance for thestructural design of the X-ray source and the monochromatic X-ray applications.
4. EDA technology introduced into the structural design of miniature X-raysource, to carry out the the tube electronics kinematics simulation design. Using CSTParticle Studio software to build a micro-simulation model of the X-ray source,analysis the internal electric field of the X-ray source, the electric potentialdistribution, electron trajectory and the emission current, obtain the electron beamfocal spot shape, anode charge density distribution,electron energy, electron velocityvariation and emission current value, scan and optimize of the structural parameters ofthe various components. The results show that: the electrostatic focusing electronbeam trajectory control is feasible, the largest electronic movement speeds of up to1.2×10~8m/s, electron acceleration in a very short space between the shield and theanode cap, the the center maximum charge densityup to the3×10~(-8)C/m~3filamentemission current up to50μA.
5. Researching the steady-state temperature rise of the cathode, anode and shellsurface by the Use of co-simulation technology with CST multi-physics studio andparticles studio software. The results show that: the main heat source of the miniatureX-ray source concentrated in the vicinity of the cathode filament center, the shellmaximum temperature of59°C, the maximum thermal power loss on the anode targetcenter density of2.9×10~8W/m~3, and the maximum temperature is about44℃.
6. Designed and produced miniature X-ray tube, and performance testing. Theexperiments show that: for the trial produced miniature X-ray source, maximumemission current of80μA or more,emitted X-ray spectral distribution is basically thesame with the foreign products. So directly heated cathode structure is able to meet theapplication requirements of the miniature X-ray source.
本文研究工作来源于863计划“资源环境技术领域”课题“高精度射线探测仪器研发”（课题编号：2012AA061803）。针对直热式陶瓷封装端窗阳极结构微型X射线源的内部结构进行理论分析和仿真计算，并在此基础上开展实物设计和实验研究，论文的主要工作和成果有：
1.设计并研制了一种新的金属陶瓷封装微型X射线源，打破了国外的技术封锁，为我国便携式X射线荧光分析提供了新型X射线激发源。
2.通过国内外调研和同类产品的解析，确立了微型X射线源的结构组成和设计工艺流程。微型X射线源电子发射系统采用热发射方式，电子束聚焦采用静电聚焦方式，阳极采用端窗透射结构，管体为陶瓷结构封装。
3.针对微型X射线源各部件开展基础理论研究，为实物设计提供理论依据。
(1)采用发射电流相对偏差为指标对阴极发射体发射电流的均匀性进行评价，得到了灯丝温度延阴极方向的分布规律。这为灯丝的结构设计提供了理论参考。
(2)提出采用维丁顿公式计算微型X射线源靶材平均厚度的思路，得到了不同能量电子束轰击不同材料靶材时的平均厚度值。从理论上证明了微型X射线源靶材平均厚度在1-5μm之间。
(3)从理论推导和蒙特卡罗模拟验证两方面，得到了出射特征X射线的最大强度出现在与阳极表面夹角成1~4o方向上的结论。这对于X射线源的结构设计和出射X射线的单色化应用具有一定的理论指导意义。
4.将EDA技术引入微型X射线源结构设计中，开展了管体电子运动学仿真设计。利用CST粒子工作室软件建立了微型X射线源仿真模型，对X射线源内部电场、电势分布、电子运动轨迹以及发射电流等进行了仿真分析，得到了电子束焦斑形状、阳极电荷密度分布、电子能量以及电子运动速度的变化规律和发射电流值，对各部件的结构参数进行了扫描和优化计算。结果表明：采用静电聚焦方式实现电子束运行轨迹控制可行，电子最大运动速度可达1.2×10~8m/s，电子的加速主要在屏蔽罩和阳极罩之间极短的空间内进行，中心最大电荷密度可达3×10~(-8)C/m~3以上，灯丝发射电流可达50μA以上。
5.利用CST多物理场工作室和粒子工作室软件进行协同仿真设计，对射线源管体、阴极、阳极、外壳等表面稳态温升进行了研究。结果表明：微型X射线源热源主要集中在以灯丝为中心的阴极附近，外壳最高温度为59℃，阳极靶中心最大热损耗功率密度为2.9×10~8W/m~3，最高温度为44℃左右，满足设计要求。
6.开展了微型X射线源实物的设计、制作和性能测试。实验表明：试制的微型X射线源最大发射电流达到80μA以上，发射X射线光谱分布与国外同类产品基本相同，采用直热式阴极结构能够满足微型X射线源的应用需求。
Portable X-ray fluorescence analysis instruments,which is based on elementscharacteristic X-ray physical properties,has been widely used in many areas and fieldsat home and abroad.Miniature x-ray source is one of the key components of theportable X-ray fluorescence analysis instrument. Commercial portable fluorescenceanalyzer, basically using the the foreign ceramic craft package x-ray source, theinternal structure and fabrication process are confidential. Domestically producedx-ray source oriented to the field of non-destructive testing, medical imagingapplications. The portable fluorescence analysis applications,have raised higherrequirements for the X-ray source stability, size, power consumption, efficiency andspeed of response
This paper studies comes from a863plan resources in the field of environmentaltechnology topics “high-precision ray detection equipment R&D "(Project No.:2012AA061803). Physical design and experimental studies are carried out on thebasis of Theoretical analysis and simulation of the internal structure for the directthermal ceramic package end window anode structure of miniature X-ray source. Thework and achievements of the papers are as follows:
1. Designed and developed a new metal ceramic package miniature X-raysource,which has broke the blockade of foreign technology, provides a new type ofX-ray excitation source of portable X-ray fluorescence analysis.
2. Established the structure and designing technological process of the miniatureX-ray source by domestic and international research and parsing similar products. Forthe miniature X-ray source,the electron emission system is thermal emission,theelectron beam focusing is electrostatic focusing,the anode is end windows transmissionstructure, and the package is ceramic structure.
3. Fundamental research to provide a theoretical basis for the physical design hascarried out for the components of the micro X-ray source.
(1) The emission current relative deviation as an index to evaluate the uniformityof emission current of the cathode emitter, and obtain the cathode filament temperaturedistribution rule. This provides a theoretical reference for the filament structural design.
(2) The ideas proposed using Eddington formula to calculate the averagethickness of the miniature X-ray source target,and obtain the different material target’saverage thickness value bombarded by different energy electron beam. Theoreticallyproved that the miniature X-ray source target average thickness of1-5μm.
(3) Theoretical analysis and Monte Carlo simulations verify that the maximumintensity of the emission characteristic X-ray in the direction of the angle between thesurface of the anode into1~4o. This has certain theoretical significance for thestructural design of the X-ray source and the monochromatic X-ray applications.
4. EDA technology introduced into the structural design of miniature X-raysource, to carry out the the tube electronics kinematics simulation design. Using CSTParticle Studio software to build a micro-simulation model of the X-ray source,analysis the internal electric field of the X-ray source, the electric potentialdistribution, electron trajectory and the emission current, obtain the electron beamfocal spot shape, anode charge density distribution,electron energy, electron velocityvariation and emission current value, scan and optimize of the structural parameters ofthe various components. The results show that: the electrostatic focusing electronbeam trajectory control is feasible, the largest electronic movement speeds of up to1.2×10~8m/s, electron acceleration in a very short space between the shield and theanode cap, the the center maximum charge densityup to the3×10~(-8)C/m~3filamentemission current up to50μA.
5. Researching the steady-state temperature rise of the cathode, anode and shellsurface by the Use of co-simulation technology with CST multi-physics studio andparticles studio software. The results show that: the main heat source of the miniatureX-ray source concentrated in the vicinity of the cathode filament center, the shellmaximum temperature of59°C, the maximum thermal power loss on the anode targetcenter density of2.9×10~8W/m~3, and the maximum temperature is about44℃.
6. Designed and produced miniature X-ray tube, and performance testing. Theexperiments show that: for the trial produced miniature X-ray source, maximumemission current of80μA or more,emitted X-ray spectral distribution is basically thesame with the foreign products. So directly heated cathode structure is able to meet theapplication requirements of the miniature X-ray source.
引文
[1] RC乌孟斯基，AK特拉别兹尼科夫，AH基达衣哥罗德斯基．X射线学[M]．方正知，译：中国科学院．
[2]杨强．嵌入式X射线荧光数据处理系统的研制[D]．成都：成都理工大学，2007．
[3]张立骥，傅勇敏，杨美民．X射线管在恒直流条件下高压稳定性的研究[J]．真空，1999（4）：13-16．
[4]房鸿，李耀宗，黄悦．新型X射线管的研制与性能测试[J]．真空，2005，42（5）：36-38．
[5]陶希珍．x射线管及其应用发展动态[J]．真空电子技术，1991（1）：9-15．
[6]赵久．谈金属陶瓷X射线管[J]．仪表工业，1987（3）：16-18．
[7]冯克斌．金属壁X射线管〈介绍一种新型X射线管〉[J]．实用放射学杂志，1986（3）：164-165,17．
[8]李玉魁，成胜利，刘兴辉，等．碳纳米管阴极场致发射的电场数值模拟[J]．辽宁大学学报（自然科学版），2006，33（2）：168-171．
[9]游玉香，苏艺菁，叶芸，等．碳纳米管场致发射平面背光源[J]．液晶与显示，2010，25（4）：527-530．
[10]孙启龙，王兴涛，林国强，等．碳纳米管光场致发射新型电子枪的初步方案设计[J]．核技术，2007（11）：947-951．
[11]夏连胜，张篁，杨兴林，等．碳纤维阴极的场致发射特性实验研究[J]．强激光与粒子束，2007，19（4）：685-688．
[12]赵武，张志勇，闫军锋，等．碳化硅薄膜制备及其场发射特性[J]．天津大学学报，2008，198（1）：28-32．
[13]朱炳金，陈泽祥，张强，等．六硼化镧薄膜场致发射的特性[J]．发光学报，2008（3）：561-566．
[14]王凯歌，牛憨笨，杨建清．微束斑X射线源LaB_6阴极电子枪的设计[J]．光学技术，2001（1）：68-70,73．
[15]刘玺，林祖伦，祁康成．六硼化镧空心阴极加热效率研究[J]．电子器件，2010（2）．
[16]金帅，刘丹敏，周身林，等．LaB_6热阴极陶瓷材料的研究进展[C]//第六届中国功能材料及其应用学术会议．中国湖北武汉，中国湖北武汉，2007．
[17]熊玉华，尉秀英，秦光荣，等．激活工艺和表面气体压强对一种改性锆石墨吸气剂吸气性能的影响[J]．真空科学与技术学报，2007，27（5）：400-404．
[18]张粹伟．氧化物阴极[J]．电子器件，1984（3）．
[19]李海雁，王开云．温度对金属热发射、场致发射、光电发射和次级发射的影响[J]．广西物理，1999（4）．
[20]方杰．实用情况下热发射体的研究[J]．电子管技术，1981（Z1）．
[21]李海雁，王开云．温度对金属热发射、场致发射、光电发射和次级发射的影响[J]．昆明师专学报，1998（S1）．
[22]万英超．Tac薄膜的制备及其热发射特性测试[J]．真空科学与技术，1987（4）．
[23]郝世明，聂祚仁．钨热阴极发射机制的研究进展[J]．中国钨业，2007，22（3）：15-18．
[24]王亦曼．从第二届国际真空电子源会议(IVESC’98)看热阴极研究现状[J]．真空电子技术，1999（2）：34-40．
[25] GAY P, HIRSCH P B, THORP J S, et al. An X-Ray Micro-Beam technique: II-a high intensityX-Ray generator[J/OL]. Proceedings of the Physical Society. Section B,1951,64(05):374-386,37.
[26]颜一鸣．X光学的重要突破——谈X光透镜[J]．现代物理知识，1991（5）．
[27]杨健．微束微区X射线荧光矿物探针研制[D]．成都：成都理工大学，2011．
[28] CHANG-KYUN P, JONG-PIL K, SUNG-JUN Y, et al. Field emission properties of Carbonnanotubes grown on a conical Tungsten tip for the application of a microfocus x-raytube[J]. Thin Solid Films,2007,516(2/4):304-309.
[29]彭自安，柯春，冯进军，等．Spindt型阴极的研制[J]．电子器件，1994（3）．
[30]魏飞，张强，骞伟中，等．碳纳米管阵列研究进展[J]．新型炭材料，2007（3）．
[31]董建会．金刚石薄膜场发射述评[J]．中北大学学报(自然科学版)，2007（S1）．
[32] KOPPEL L N, MARSHALL J R. A miniature metal-ceramic x-ray source for spacecraftinstrumentation[J]. REV SCI Instrum,1998,69(4):1893-1897.
[33] RIBBING C, PELLE R, HJORT K. Diamond membrane based structures for miniature X-raysources[J]. Diamond and Related Materials,2002,11(1):1-7.
[34] YUE G-z, QIU Q, BO Gao, et al. Generation of continuous and pulsed diagnostic imagingx-ray radiation using a carbon-nanotube-based field-emission cathode[J]. Applied PhysicsLetters,2002,81(2):355-357.
[35]王凯歌．微束斑X射线源的理论与实验研究[D]．北京：中国科学院研究生院，2002．
[36]承欢，江剑平．阴极电子学[M]：西北电讯工程学院出版社，1986．
[37]张恩虬．氧化物阴极的电子发射机理[J]：电子学报.1983（2）．
[38]廖显恒，王小霞，赵青兰，等．氧化物阴极的应用研究及发展[J]．微波学报．
[39]张敏，王小霞，罗积润，等．等离子喷涂含钪氧化物阴极制备及发射特性研究[J]．物理学报，2012（7）．
[40]王凯歌．微束斑X射线源的理论与实验研究[D]：中科院研究生院，2002．
[41]张粹伟．直热式钡钨阴极[J]．真空电子技术，1988（2）．
[42]江剑平，翁甲辉，杨泮棠．阴极电子学与气体放电原理[M]．北京：国防工业出版社，1980．
[43] Бя皮湼斯．细聚焦X射线管及其在结构分析中的应用[M]．何犖，译．北京：科学出版社．
[44]顾钰熹，邹耀弟，白闻多．陶瓷与金属的连接[M]．北京：化学工业出版社，2010．
[45]刘开琪，徐强，张会军．金属陶瓷的制备与应用[M]．北京：冶金工业出版社，2008．
[46]刘联宝．电真空器件的钎焊与陶瓷-金属封接[M]．北京：国防工业出版社，1978．
[47] TINKLEPAUGH J R, CRANDALL W B．金属陶瓷[M]．施今，译．上海：上海科学技术出版社，1964．
[48] COLE S S, JR, LARISCH H W．金属陶瓷封接[M]．国外电子器件编译组，译．北京，1962．
[49]刘联保，杨钰平，柯春和，等．陶瓷-金属封接技术指南[M]．北京：国防工业出版社，1990．
[50]徐杰．移动通信微带天线的研究与设计[D]．昆明：云南大学，2010．
[51]丁昱．核电磁脉冲线缆耦合效应研究[D]．北京：北京交通大学，2009．
[52]何蔚．小型化与宽频带天线技术研究[D]．上海：上海交通大学，2007．
[53]傅佳辉，吴群．微波EDA电磁场仿真软件评述[J]．微波学报，2004（2）．
[54]王亚军，王峰，李约翰．有限元分析系统在结构计算中的比较及展望[J]．基建优化，2003（4）．
[55]葛良全，周四春．核辐射测量方法[M]．四川成都：成都理工大学，2010．
[56]孙玉聪．电子储存环束流损失测量系统的研制[D]．合肥：中国科学技术大学，2011．
[57] ИВ亚沃尔斯基．X射线学基础[M]．田玉，译：地质出版社，1959．
[58]李丹．EDiX-Ⅲ型X光管在能量色散X荧光分析中的应用研究[D]．成都：成都理工大学，2008．
[59]葛良全，周四春，赖万昌．原位X辐射取样技术[M]．四川成都：四川科学技术出版社，1997．
[60]孙莹莹，姜校亮，张涵，等．特征X射线角分布的MCNP模拟研究[C]//“创新——核科学技术发展的不竭源泉”——中国核学会2009年学术年会．中国北京，中国北京，2009．
[61]马长征，张素楠，崔宏建，等．医用诊断X线机检定与修理技术[M]．北京：中国计量出版社，1997．
[62]何崇智，郗秀荣，孟庆恩，等．X射线衍射实验技术[M]．上海：上海科学技术出版社，1988．
[63]张洪来，由玉新，程永吉，等．复铼膜阴极的发射和表面特性[J]．电子科学学刊，1990（4）．
[64]中国科学院电子学研究所阴极组．基金属镀铼氧化物阴极[J]．电子管技术，1975（Z1）．
[65]沈春英，李志顺，丘泰，等．浸渍型钡钨阴极用高性能铝酸盐研究[J]．稀有金属材料与工程，2007，256（11）：2057-2060．
[66]杜士珍，柴成钢，孙蕾．钨丝阴极最热点分析[J]．真空电子技术，2001（6）．
[67]窦菊英，朱长纯，皇甫鲁江，等．阴极温度分布对发射本领测量的影响[J]．西安交通大学学报，1999（11）．
[68]邱亚峰，常本康，张俊举，等．面源灯丝的热电子发射电流密度和均匀性分析[J]．兵工学报，2009，10（5）．
[69]印协世．钨丝生产原理、工艺及其性能[M]．北京：冶金工业出版社，1998．
[70][美]因克罗普拉FP，德威特DP．传热基础，511[M]．北京：宇航出版社，1987．
[71]马庆芳，方荣生，项立成．使用热物理性质手册[M]．北京：中国农业机械出版社，1986：969-1015．
[72] CHINA C. CST studio suite-getting started[M]. Germany: CST China,2006.
[73] CHINA C. CST cable studio-workflow[M],. Germany: CST,2006.
[74] CHINA C. CST design studio-workflow[M]. Germany: CST China,2006.
[75] CHINA C. CST EM studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2007.
[76] CHINA C. CST microstripes-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[77] CHINA C. CST microwave studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[78] CHINA C. CST mphysics studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2009.
[79] CHINA C. CST particle studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[80] CHINA C. CST PCB studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[81]李丹，金灿，刘晓平．六面体网格剖分算法的研究现状[J]．电脑应用技术，2012（1）．
[82] CHINA C．CST工作室套装-高级概念[M]．Germany：CST China，2008．
[83]宋芳芳．行波管阴极组件热分析及优化设计[D]．南京：东南大学，2005．
[84]王保国，刘淑艳，王新泉，等．传热学[M]．北京：机械工业出版社．
[85]杨桄．地源热泵地埋管换热系统的边界条件对系统换热效率的影响[D]．长春：吉林大学，2011．
[86]王晓红，田文德，王英龙．化工原理[M]．北京：化学工业出版社，2009．
[87]刘文铁，阮根健，孙红宾．锅炉热工测试技术[M]．黑龙江：哈尔滨工业大学出版社，1996．
[88]郝玉福，吴淑美，邓先琛．热工理论基础[M]．北京：高等教育出版社，1992．
[89]西北稀有金属材料研究院, YS-T41-2005．中华人民共和国有色金属行业铍片标准[S].北京：国家发展和改革委员会,2005．
[90]中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局，中国国家标准化管理委员, GB/T12611-2008．金属零（部）件镀覆前质量控制技术要求[S].北京：中国标准出版社,2008．
[91]国家技术监督局, SJ/T11110-1996．金属覆盖层工程用银和银合金电镀层标准[S].北京：中国标准出版社,1996．
[92]葛良全，孙传敏，谷懿，等．微束微区X荧光矿物探针分析仪的研制[J]．矿物岩石，2010（3）．
[93]杨强，葛良全，赖万昌，等．X荧光测井探管的研制及其初步应用[J]．物探与化探，2010（4）．
[94]向国进，童建民．便携式能量色散X荧光分析仪的研制[J]．实验技术与管理，2009（2）．
[95]咸阳威思曼高压电源有限公司．XRW系列高压电源用户手册
[EB/OL]．http://www.wismanhv.com．
[96]杨强，于姗姗，张震，等．嵌入式X荧光数据处理系统的研制[J]．核电子学与探测技术，2009（3）．
[97]王婧，葛良全，王卓，等．能量色散X荧光分析方法现场测定样品中Sr(锶)的含量[J]．科学咨询(科技·管理)，2012（8）．
[98]谷懿，杨强，赖万昌，等．一体化X射线管激发荧光分析仪的研制[J]．核电子学与探测技术，2010（5）：686-689．
[99]葛良全，赖万昌，林玲，等．水底沉积物原位X射线荧光测量中水分的影响与校正[J]．核技术，2004（4）．
[100]程锋，葛良全，赖万昌，等．新一代便携式X射线荧光仪及其在铀分析中的初步应用[J]．铀矿地质，2008（6）：375-379,36．
[2]杨强．嵌入式X射线荧光数据处理系统的研制[D]．成都：成都理工大学，2007．
[3]张立骥，傅勇敏，杨美民．X射线管在恒直流条件下高压稳定性的研究[J]．真空，1999（4）：13-16．
[4]房鸿，李耀宗，黄悦．新型X射线管的研制与性能测试[J]．真空，2005，42（5）：36-38．
[5]陶希珍．x射线管及其应用发展动态[J]．真空电子技术，1991（1）：9-15．
[6]赵久．谈金属陶瓷X射线管[J]．仪表工业，1987（3）：16-18．
[7]冯克斌．金属壁X射线管〈介绍一种新型X射线管〉[J]．实用放射学杂志，1986（3）：164-165,17．
[8]李玉魁，成胜利，刘兴辉，等．碳纳米管阴极场致发射的电场数值模拟[J]．辽宁大学学报（自然科学版），2006，33（2）：168-171．
[9]游玉香，苏艺菁，叶芸，等．碳纳米管场致发射平面背光源[J]．液晶与显示，2010，25（4）：527-530．
[10]孙启龙，王兴涛，林国强，等．碳纳米管光场致发射新型电子枪的初步方案设计[J]．核技术，2007（11）：947-951．
[11]夏连胜，张篁，杨兴林，等．碳纤维阴极的场致发射特性实验研究[J]．强激光与粒子束，2007，19（4）：685-688．
[12]赵武，张志勇，闫军锋，等．碳化硅薄膜制备及其场发射特性[J]．天津大学学报，2008，198（1）：28-32．
[13]朱炳金，陈泽祥，张强，等．六硼化镧薄膜场致发射的特性[J]．发光学报，2008（3）：561-566．
[14]王凯歌，牛憨笨，杨建清．微束斑X射线源LaB_6阴极电子枪的设计[J]．光学技术，2001（1）：68-70,73．
[15]刘玺，林祖伦，祁康成．六硼化镧空心阴极加热效率研究[J]．电子器件，2010（2）．
[16]金帅，刘丹敏，周身林，等．LaB_6热阴极陶瓷材料的研究进展[C]//第六届中国功能材料及其应用学术会议．中国湖北武汉，中国湖北武汉，2007．
[17]熊玉华，尉秀英，秦光荣，等．激活工艺和表面气体压强对一种改性锆石墨吸气剂吸气性能的影响[J]．真空科学与技术学报，2007，27（5）：400-404．
[18]张粹伟．氧化物阴极[J]．电子器件，1984（3）．
[19]李海雁，王开云．温度对金属热发射、场致发射、光电发射和次级发射的影响[J]．广西物理，1999（4）．
[20]方杰．实用情况下热发射体的研究[J]．电子管技术，1981（Z1）．
[21]李海雁，王开云．温度对金属热发射、场致发射、光电发射和次级发射的影响[J]．昆明师专学报，1998（S1）．
[22]万英超．Tac薄膜的制备及其热发射特性测试[J]．真空科学与技术，1987（4）．
[23]郝世明，聂祚仁．钨热阴极发射机制的研究进展[J]．中国钨业，2007，22（3）：15-18．
[24]王亦曼．从第二届国际真空电子源会议(IVESC’98)看热阴极研究现状[J]．真空电子技术，1999（2）：34-40．
[25] GAY P, HIRSCH P B, THORP J S, et al. An X-Ray Micro-Beam technique: II-a high intensityX-Ray generator[J/OL]. Proceedings of the Physical Society. Section B,1951,64(05):374-386,37.
[26]颜一鸣．X光学的重要突破——谈X光透镜[J]．现代物理知识，1991（5）．
[27]杨健．微束微区X射线荧光矿物探针研制[D]．成都：成都理工大学，2011．
[28] CHANG-KYUN P, JONG-PIL K, SUNG-JUN Y, et al. Field emission properties of Carbonnanotubes grown on a conical Tungsten tip for the application of a microfocus x-raytube[J]. Thin Solid Films,2007,516(2/4):304-309.
[29]彭自安，柯春，冯进军，等．Spindt型阴极的研制[J]．电子器件，1994（3）．
[30]魏飞，张强，骞伟中，等．碳纳米管阵列研究进展[J]．新型炭材料，2007（3）．
[31]董建会．金刚石薄膜场发射述评[J]．中北大学学报(自然科学版)，2007（S1）．
[32] KOPPEL L N, MARSHALL J R. A miniature metal-ceramic x-ray source for spacecraftinstrumentation[J]. REV SCI Instrum,1998,69(4):1893-1897.
[33] RIBBING C, PELLE R, HJORT K. Diamond membrane based structures for miniature X-raysources[J]. Diamond and Related Materials,2002,11(1):1-7.
[34] YUE G-z, QIU Q, BO Gao, et al. Generation of continuous and pulsed diagnostic imagingx-ray radiation using a carbon-nanotube-based field-emission cathode[J]. Applied PhysicsLetters,2002,81(2):355-357.
[35]王凯歌．微束斑X射线源的理论与实验研究[D]．北京：中国科学院研究生院，2002．
[36]承欢，江剑平．阴极电子学[M]：西北电讯工程学院出版社，1986．
[37]张恩虬．氧化物阴极的电子发射机理[J]：电子学报.1983（2）．
[38]廖显恒，王小霞，赵青兰，等．氧化物阴极的应用研究及发展[J]．微波学报．
[39]张敏，王小霞，罗积润，等．等离子喷涂含钪氧化物阴极制备及发射特性研究[J]．物理学报，2012（7）．
[40]王凯歌．微束斑X射线源的理论与实验研究[D]：中科院研究生院，2002．
[41]张粹伟．直热式钡钨阴极[J]．真空电子技术，1988（2）．
[42]江剑平，翁甲辉，杨泮棠．阴极电子学与气体放电原理[M]．北京：国防工业出版社，1980．
[43] Бя皮湼斯．细聚焦X射线管及其在结构分析中的应用[M]．何犖，译．北京：科学出版社．
[44]顾钰熹，邹耀弟，白闻多．陶瓷与金属的连接[M]．北京：化学工业出版社，2010．
[45]刘开琪，徐强，张会军．金属陶瓷的制备与应用[M]．北京：冶金工业出版社，2008．
[46]刘联宝．电真空器件的钎焊与陶瓷-金属封接[M]．北京：国防工业出版社，1978．
[47] TINKLEPAUGH J R, CRANDALL W B．金属陶瓷[M]．施今，译．上海：上海科学技术出版社，1964．
[48] COLE S S, JR, LARISCH H W．金属陶瓷封接[M]．国外电子器件编译组，译．北京，1962．
[49]刘联保，杨钰平，柯春和，等．陶瓷-金属封接技术指南[M]．北京：国防工业出版社，1990．
[50]徐杰．移动通信微带天线的研究与设计[D]．昆明：云南大学，2010．
[51]丁昱．核电磁脉冲线缆耦合效应研究[D]．北京：北京交通大学，2009．
[52]何蔚．小型化与宽频带天线技术研究[D]．上海：上海交通大学，2007．
[53]傅佳辉，吴群．微波EDA电磁场仿真软件评述[J]．微波学报，2004（2）．
[54]王亚军，王峰，李约翰．有限元分析系统在结构计算中的比较及展望[J]．基建优化，2003（4）．
[55]葛良全，周四春．核辐射测量方法[M]．四川成都：成都理工大学，2010．
[56]孙玉聪．电子储存环束流损失测量系统的研制[D]．合肥：中国科学技术大学，2011．
[57] ИВ亚沃尔斯基．X射线学基础[M]．田玉，译：地质出版社，1959．
[58]李丹．EDiX-Ⅲ型X光管在能量色散X荧光分析中的应用研究[D]．成都：成都理工大学，2008．
[59]葛良全，周四春，赖万昌．原位X辐射取样技术[M]．四川成都：四川科学技术出版社，1997．
[60]孙莹莹，姜校亮，张涵，等．特征X射线角分布的MCNP模拟研究[C]//“创新——核科学技术发展的不竭源泉”——中国核学会2009年学术年会．中国北京，中国北京，2009．
[61]马长征，张素楠，崔宏建，等．医用诊断X线机检定与修理技术[M]．北京：中国计量出版社，1997．
[62]何崇智，郗秀荣，孟庆恩，等．X射线衍射实验技术[M]．上海：上海科学技术出版社，1988．
[63]张洪来，由玉新，程永吉，等．复铼膜阴极的发射和表面特性[J]．电子科学学刊，1990（4）．
[64]中国科学院电子学研究所阴极组．基金属镀铼氧化物阴极[J]．电子管技术，1975（Z1）．
[65]沈春英，李志顺，丘泰，等．浸渍型钡钨阴极用高性能铝酸盐研究[J]．稀有金属材料与工程，2007，256（11）：2057-2060．
[66]杜士珍，柴成钢，孙蕾．钨丝阴极最热点分析[J]．真空电子技术，2001（6）．
[67]窦菊英，朱长纯，皇甫鲁江，等．阴极温度分布对发射本领测量的影响[J]．西安交通大学学报，1999（11）．
[68]邱亚峰，常本康，张俊举，等．面源灯丝的热电子发射电流密度和均匀性分析[J]．兵工学报，2009，10（5）．
[69]印协世．钨丝生产原理、工艺及其性能[M]．北京：冶金工业出版社，1998．
[70][美]因克罗普拉FP，德威特DP．传热基础，511[M]．北京：宇航出版社，1987．
[71]马庆芳，方荣生，项立成．使用热物理性质手册[M]．北京：中国农业机械出版社，1986：969-1015．
[72] CHINA C. CST studio suite-getting started[M]. Germany: CST China,2006.
[73] CHINA C. CST cable studio-workflow[M],. Germany: CST,2006.
[74] CHINA C. CST design studio-workflow[M]. Germany: CST China,2006.
[75] CHINA C. CST EM studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2007.
[76] CHINA C. CST microstripes-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[77] CHINA C. CST microwave studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[78] CHINA C. CST mphysics studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2009.
[79] CHINA C. CST particle studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[80] CHINA C. CST PCB studio-workflow and solver overview[M]. Germany: CST China,2006.
[81]李丹，金灿，刘晓平．六面体网格剖分算法的研究现状[J]．电脑应用技术，2012（1）．
[82] CHINA C．CST工作室套装-高级概念[M]．Germany：CST China，2008．
[83]宋芳芳．行波管阴极组件热分析及优化设计[D]．南京：东南大学，2005．
[84]王保国，刘淑艳，王新泉，等．传热学[M]．北京：机械工业出版社．
[85]杨桄．地源热泵地埋管换热系统的边界条件对系统换热效率的影响[D]．长春：吉林大学，2011．
[86]王晓红，田文德，王英龙．化工原理[M]．北京：化学工业出版社，2009．
[87]刘文铁，阮根健，孙红宾．锅炉热工测试技术[M]．黑龙江：哈尔滨工业大学出版社，1996．
[88]郝玉福，吴淑美，邓先琛．热工理论基础[M]．北京：高等教育出版社，1992．
[89]西北稀有金属材料研究院, YS-T41-2005．中华人民共和国有色金属行业铍片标准[S].北京：国家发展和改革委员会,2005．
[90]中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局，中国国家标准化管理委员, GB/T12611-2008．金属零（部）件镀覆前质量控制技术要求[S].北京：中国标准出版社,2008．
[91]国家技术监督局, SJ/T11110-1996．金属覆盖层工程用银和银合金电镀层标准[S].北京：中国标准出版社,1996．
[92]葛良全，孙传敏，谷懿，等．微束微区X荧光矿物探针分析仪的研制[J]．矿物岩石，2010（3）．
[93]杨强，葛良全，赖万昌，等．X荧光测井探管的研制及其初步应用[J]．物探与化探，2010（4）．
[94]向国进，童建民．便携式能量色散X荧光分析仪的研制[J]．实验技术与管理，2009（2）．
[95]咸阳威思曼高压电源有限公司．XRW系列高压电源用户手册
[EB/OL]．http://www.wismanhv.com．
[96]杨强，于姗姗，张震，等．嵌入式X荧光数据处理系统的研制[J]．核电子学与探测技术，2009（3）．
[97]王婧，葛良全，王卓，等．能量色散X荧光分析方法现场测定样品中Sr(锶)的含量[J]．科学咨询(科技·管理)，2012（8）．
[98]谷懿，杨强，赖万昌，等．一体化X射线管激发荧光分析仪的研制[J]．核电子学与探测技术，2010（5）：686-689．
[99]葛良全，赖万昌，林玲，等．水底沉积物原位X射线荧光测量中水分的影响与校正[J]．核技术，2004（4）．
[100]程锋，葛良全，赖万昌，等．新一代便携式X射线荧光仪及其在铀分析中的初步应用[J]．铀矿地质，2008（6）：375-379,36．
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