微进给工作台的研制与铸铁基砂轮电火花整形试验研究
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摘要
随着科学技术的进步，硬脆材料的应用也随之日益广泛。为实现硬脆材料的精密、超精密磨削，本文对超精密磨削用微进给工作台及ELID 超精密磨削用金刚石砂轮的电火花整形技术进行了研究。
高精度微进给系统是超精密加工的关键部件，具有微量控制磨削厚度的功能。本文密切结合ELID磨削中的实际问题，研究精密磨床辅助进给工作台，以进一步提高磨床的进给精度。文中阐述了以压电陶瓷作动器为驱动源，弹性铰链为弹性变形元件的微进给工作台的结构特性和工作原理，利用有限元软件ANSYS对弹性铰链的结构尺寸进行了优化设计，得到了合适的结构参数。并对微进给工作台进行实验测试，测试结果表明微进给工作台的位移输出特性满足设计要求。
砂轮的形状精度直接影响着工件磨削表面质量。铸铁结合剂金刚石砂轮具有高的刚度、强度，适合工程陶瓷、硬质合金等硬脆材料的超精密磨削。但由于铸铁结合剂金刚石砂轮的结合剂硬度高，所以砂轮难以修整。本文根据电火花加工原理，通过一系列实验，借助于数据采集系统采集整形过程中的电压和电流，总结了铸铁结合金刚石砂轮的电火花整形规律。通过电火花整形，使铸铁结合剂砂轮初步达到了精密磨削的要求。
With the development of science and technology, the hard and brittle materials, such as ceramics are meeting a wider adoption. In order to realize the ultra precision grinding of hard and brittle materials, the author studies micrometer feed table used in ultra-precision grinding and the spark truing of cast iron bonded diamond grinding-wheels technique.
High precision micrometer feed system is a critical part of ultra precision machining system. It has the function of controlling the cut depth. So closely connecting the problems occurring during micro grinding, a micrometer feed table is studied and made in order to improve the feeding precision of the grinding machine further. In this thesis, the structure characteristics and working principle of a micrometer feed table is presented in detail. The micrometer feed table is driven by piezoelectric translator. With the aid of the finite element method, the structural parameter of the flexure hinges have been optimized. And the experiment of the table has been carried out. The results show that the displacement output feature meets the design requirements.
The shape precision of grinding wheel affects the surface finish of work piece directly. But the precise truing of a cast iron bonded grinding wheel is considerably difficult. So the author carries out a series of experiments for spark truing on the base of sparkling processing principles, and at the same time a data collecting system is used to collect the current and voltage. With the help of it, the surface quality can be estimated real time. And at the same time roundness and taper of the grinding wheel are measured. By means of spark truing, the cast iron bonded diamond grinding wheel can meet the requirements of ultra precision machining.
高精度微进给系统是超精密加工的关键部件，具有微量控制磨削厚度的功能。本文密切结合ELID磨削中的实际问题，研究精密磨床辅助进给工作台，以进一步提高磨床的进给精度。文中阐述了以压电陶瓷作动器为驱动源，弹性铰链为弹性变形元件的微进给工作台的结构特性和工作原理，利用有限元软件ANSYS对弹性铰链的结构尺寸进行了优化设计，得到了合适的结构参数。并对微进给工作台进行实验测试，测试结果表明微进给工作台的位移输出特性满足设计要求。
砂轮的形状精度直接影响着工件磨削表面质量。铸铁结合剂金刚石砂轮具有高的刚度、强度，适合工程陶瓷、硬质合金等硬脆材料的超精密磨削。但由于铸铁结合剂金刚石砂轮的结合剂硬度高，所以砂轮难以修整。本文根据电火花加工原理，通过一系列实验，借助于数据采集系统采集整形过程中的电压和电流，总结了铸铁结合金刚石砂轮的电火花整形规律。通过电火花整形，使铸铁结合剂砂轮初步达到了精密磨削的要求。
With the development of science and technology, the hard and brittle materials, such as ceramics are meeting a wider adoption. In order to realize the ultra precision grinding of hard and brittle materials, the author studies micrometer feed table used in ultra-precision grinding and the spark truing of cast iron bonded diamond grinding-wheels technique.
High precision micrometer feed system is a critical part of ultra precision machining system. It has the function of controlling the cut depth. So closely connecting the problems occurring during micro grinding, a micrometer feed table is studied and made in order to improve the feeding precision of the grinding machine further. In this thesis, the structure characteristics and working principle of a micrometer feed table is presented in detail. The micrometer feed table is driven by piezoelectric translator. With the aid of the finite element method, the structural parameter of the flexure hinges have been optimized. And the experiment of the table has been carried out. The results show that the displacement output feature meets the design requirements.
The shape precision of grinding wheel affects the surface finish of work piece directly. But the precise truing of a cast iron bonded grinding wheel is considerably difficult. So the author carries out a series of experiments for spark truing on the base of sparkling processing principles, and at the same time a data collecting system is used to collect the current and voltage. With the help of it, the surface quality can be estimated real time. And at the same time roundness and taper of the grinding wheel are measured. By means of spark truing, the cast iron bonded diamond grinding wheel can meet the requirements of ultra precision machining.
引文
孙广山，超精密加工技术及其发展动向，中国机械工程，Vol No.1，1996，23-25
张春河，在线电解修整砂轮精密镜面磨削理论及应用技术的研究，哈尔滨工业大小博士学位论文，1996
W.J. Wills-Moren et al. Some Aspects of the Design and Development of a Large High Precision CNC Diamond Turning Machine. Annals of the CIRP. Vol.31 No.1,1982: pp.409-413
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何雅全，吴明根. 超精密加工技术基础. 航空航天步的628所,1993
张飞虎等 ELID磨削——硬脆材料精密和超精密加工的新技术 宇航材料工艺 1999年 第1期 pp.51-55
王 平等 在线电解修整砂轮的超精密镜面磨削新技术的发展与应用 磨料磨具与磨削 1994.4 pp.13-15
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Noman, J.Brown. Lapping. Precision Engineering, Vol.13. No.4,1991: pp.270-276
王贵成等 精密与特种加工 武汉理工大学出版社, 2001
王建业等 电解加工原理及应用 国防工业出版社, 2001
Z.J.Yuan.et al. The Optimum Crystal Plane of Ntural Diamond Tool for Precise Machining. Annals of the CIRP. Vol,41,No.1, 1992: pp.65-69
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袁哲俊. 精密和超精密加工技术. 哈尔滨工业大学，1990
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Hwa-Young Kim et al Study on the estimation of wheel state in electrolytic in-process dressing (ELID) grinding ISIE 2001,Pusan, KOREA, pp1615-1618
H.S. Lim, et. al A fundamental study on the mechanism of electrolytic in-process dressing (ELID) grinding International Journal of Machine Tools & Manufacture 42 (2002) pp.935-943
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关佳亮等, ELID砂轮结台剂作用机理的研究 哈尔滨理工大学学报 1998 年8月第三卷第四期 pp：23-26
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狄俊峰 超精密加工中微进给工作台的设计及试验研究 硕士学位论文
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