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利用原子力显微镜的PMMA薄膜微加工实验研究
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  • 作者:朱纪军左敦稳顾宁陆祖宏
  • 会议时间:2001-06-01
  • 关键词:原子力显微镜 ; 微加工 ; 纳米压痕
  • 作者单位:朱纪军,顾宁,陆祖宏(东南大学吴健雄实验室)左敦稳(南京航空航天大学机电工程学院)
  • 母体文献:第十一届全国磨削技术学术会议论文集
  • 会议名称:第十一届全国磨削技术学术会议
  • 会议地点:泉州
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 语种:chi
摘要
本文研究了原子力显微镜作为工具纳米压痕和微细加工的实验和机理.

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