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TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的力学性能研究
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  • 作者:李世钦杨耀升李克让
  • 会议时间:2003-10-01
  • 关键词:TiCN ; 陶瓷硬质薄膜 ; 离子溅镀 ; 显微结构 ; 力学性质 ; 耐磨性
  • 作者单位:李世钦,杨耀升(台湾省国立成功大学材料科学与工程系)李克让(台湾省国立成功大学机械工程学系)
  • 母体文献:第十届全国耐磨材料大会论文集
  • 会议名称:第十届全国耐磨材料大会
  • 会议地点:北京
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 语种:chi
摘要
利用HCD离子溅镀机沉积晶粒大小介于60~120nm间的一系列TiCN硬质薄膜,包括单层TiCN硬质薄膜及渐进TiCN硬质薄膜,并利用穿透电子显微镜、X-ray绕射仪、超显微硬度计及磨耗试验机研究薄膜的显微结构、力学性质及其耐磨性质。研究结果显示其晶粒具有纳米级的TiCN渐进陶瓷硬质薄膜拥有较高的硬度值,其最高硬度达HV4600;磨耗试验证明TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的耐磨性高于TiCN单层陶瓷硬质薄膜,最主要是因为薄膜镀层结构中拥有大量的晶界存在,提高了TiCN渐进陶瓷硬质薄膜的耐磨性。

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