钛合金表面掺金属类金刚石膜的摩擦磨损性能研究

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• 作者：林松盛代明江侯惠君李洪武朱霞高林凯生牛仕超
• 会议时间：2006-08-01
• 关键词：掺金属类金刚石膜 ; 钛合金 ; 摩擦磨损 ; 非平衡磁控溅射
• 作者单位：林松盛,代明江,侯惠君,李洪武,朱霞高,林凯生(广州有色金属研究院,广东,广州,510651)牛仕超(中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083)
• 母体文献：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集
• 会议名称：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
• 会议地点：兰州
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

本文采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在钛合金基体上制备了掺金属类金刚石(Me-DLC)膜层,利用摩擦磨损试验机对膜层进行摩擦磨损性能的研究,通过表面形貌仪、扫描电镜、硬度计、划痕仪等手段对膜层的摩擦磨损结果进行表征及分析探讨.结果表明:经表面类金刚石涂层处理后,对基体材料起到有效的抗磨减摩作用;特别是掺钨类金刚石膜,膜层的硬度及膜/基结合强度高,抗磨损性能佳,更适合于易磨损器件的表面改性.