一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法
- 作者：徐景辉苑伟政常洪龙谢建兵
- 会议时间：2006-09-21
- 关键词：MEMS CAD ; 三维实体 ; 版图 ; 接口
- 作者单位：西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
- 母体文献：传感技术学报
- 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国微米/纳米技术学会
- 语种：chi
摘要
本文研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件--微机械加速度计进行了验证,结果表明这种转换方法是切实可行的.
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