基于版图和工艺的MEMS器件三维结构生成算法

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：邓伟李伟华
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：MEMS器件 ; 三维结构 ; 工艺流程 ; 工艺解释 ; 算法
• 作者单位：东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二维版图文件预处理,加载器件工艺流程后,程序实现相关参数选择后并存储.给定了工艺步骤的搭配关系,进行工艺解释后,进行三维实体绘制输出.编程实现的可执行文件可对多种MEMS器件进行正确的三维描述,从而验证了该三维生成的方法.