衬底同步加热溅射BST薄膜的研究

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• 作者：张龙林立强朱健卓敏
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：同步衬底加热 ; 射频磁控溅射 ; 钛酸锶钡薄膜 ; 居里温度
• 作者单位：南京电子器件研究所,南京,210016
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

本文介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜的新方法,讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响,分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能.XRD测试结果表明制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿晶体结构,相对介电常数超过150,介质击穿强度大于1.3 MV/cm.使用这种方法不需要专门的退火工艺,就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜.