一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器

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• 作者：李海军杨拥军王建军徐永青郑七龙陈维友
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：微机械 ; 光学微机电系统 ; 可变光衰减器 ; 波分复用
• 作者单位：李海军(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023)杨拥军,徐永青,郑七龙(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051)王建军(中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900)陈维友(吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间<1 ms.