基于力学描述的MEMS悬臂梁系统级动态模拟方法

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• 作者：张健李伟华
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：MEMS设计 ; 系统级模拟 ; 力学描述 ; 等效电路 ; 受控源
• 作者单位：东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想,实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟.利用受控源的反馈作用实现耦合,所建立的等效电路可用于模拟静电驱动下悬臂梁的转移特性、瞬态响应与固有频率.与Saber模拟的数据进行对比,证实了该方法的有效性.