基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究
- 作者：郑丽娜薛晨阳张文栋熊继军张斌珍孔繁华
- 会议时间：2006-09-21
- 关键词：谐振频率 ; 振幅 ; 动态测试 ; 谐振器
- 作者单位：中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051
- 母体文献：传感技术学报
- 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国微米/纳米技术学会
- 语种：chi
摘要
本文在利用激光多普勒对硅微梳齿型谐振器多阶振动频率进行提取的基础上,结合频闪显微干涉测试技术对其谐振频率及其振幅进行了动态测试,并根据测试结果推导了谐振器的动态应力值.实验测试结果及应力推导结果与ANSYS的仿真结果相符合.
© 2004-2018 中国地质图书馆版权所有 京ICP备05064691号 京公网安备11010802017129号 地址：北京市海淀区学院路29号 邮编：100083 电话：办公室：(+86 10)66554848；文献借阅、咨询服务、科技查新：66554700 |