微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作

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• 作者：程冠晓邢廷文林妩媚周金梅邱传凯廖志杰马建玲
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：衍射光学 ; 微光学设计 ; 光子筛 ; 光刻
• 作者单位：程冠晓,廖志杰(中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039)邢廷文,林妩媚,周金梅,邱传凯(中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209)马建玲(泰山学院物理与电子科学系,山东,泰安,271021)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

在软X射线波段,各种材料的折射率均接近或小于1,常规的折射光学元件将无法使用,但是可以用光子筛等新型衍射光学元件实现软X射线波段的聚焦、成像和色散.光子筛具有体积小、重量轻、易复制和特殊的光学性能等优点,可以构成微型光机电集成系统(MOEMS),有效提高器件效能,降低成本,在军事、工业和民用等方面,应用市场潜力很大.本文综述了光子筛的国内外研究进展,介绍了光子筛的成像原理,根据标量衍射理论探讨了低数值孔径振幅光子筛的基本设计方法和制作工艺,给出了光子筛的计算机仿真结果,并且用激光直写方法在镀铬石英基片上刻蚀了特征尺寸为5 μm的微米孔阵列光子筛,实验测试了光子筛的成像性能.