新型快速准分子激光微加工方法制备毛细管电泳芯片的研究

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• 作者：刘莹姚李英任康宁吴坚刘世炳罗国安陈涛
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：毛细管电泳芯片 ; 准分子激光 ; 微加工 ; 刻蚀 ; 聚合物
• 作者单位：刘莹,姚李英,吴坚,刘世炳,罗国安,陈涛(北京工业大学激光工程研究院,北京,100022)任康宁(清华大学分析中心,北京,100084)
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国仪器仪表学会
• 语种：chi

摘要

本文选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替玻璃,石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料.在19 kV,5 Hz及5mm/min的加工参数下,采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片的制备.实验结果表明该方法加工过程简单,耗时短,自动化程度高,有效提高了芯片成品率和加工质量.芯片与相同尺寸的盖片在105℃、160 N、恒温20 min条件下通过热压键合在一起,得到密闭性好的整体芯片.最后在芯片上应用激光诱导荧光检测法对Cy5染料完成了分离检测,获得了重复性很好的检测信息.