微机电系统开关可靠性及失效分析

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• 作者：郭永献梁丽萍张大兴
• 会议时间：2007-11-03
• 关键词：射频微机电系统 ; 微波开关 ; 可靠性 ; 失效分析
• 作者单位：郭永献,张大兴(西安电子科技大学机电工程学院,陕西,西安,710071)梁丽萍(航天长征火箭技术有限公司,北京,100076)
• 母体文献：2007年全国失效分析学术会议论文集
• 会议名称：2007年全国失效分析学术会议
• 会议地点：长沙
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件,开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键.本文介绍了RF MEMS开关的可靠性问题,详细探讨了串联电阻式开关和并联电容式开关的失效模式及失效机理,并对今后RF MEMS开关可靠性方面的工作进行了展望.