大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究

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• 作者：张军峰边心超陈强张跃飞刘福平
• 会议时间：2008-04-01
• 关键词：发射光谱 ; 类金刚石薄膜 ; 等离子枪 ; 电子温度 ; 光谱诊断
• 作者单位：北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理及材料研究室,北京,102600
• 母体文献：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
• 会议名称：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

在大气压下,以Ar为辅助气体,CH4为反应单体,利用发射光谱对介质阻挡放电(DBD)等离子枪制备类金刚石的甲烷等离子体的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断并由此分析了制备类金刚石过程中甲烷可能的离解过程。通过对检测到的等离子中发射光谱谱图的研究,证实等离子中CH、C2、Ha等自由基粒子的存在,研究不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,同时计算了不同条件下的电子温度。