改善类金刚石膜性能的方法研究

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• 作者：马国佳张华芳武洪臣彭丽平
• 会议时间：2008-04-01
• 关键词：类金刚石薄膜 ; 热稳定性 ; 金属掺杂 ; 磁控溅射
• 作者单位：高能束流加工技术国防科技重点实验室,北京航空制造研究所
• 母体文献：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
• 会议名称：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。