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大气压射频放电中N2、O2粒子间相互作用数值模拟
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  • 作者:霍纯青刘福平陈强
  • 会议时间:2008-04-01
  • 关键词:大气压 ; 射频放电 ; 数值模拟 ; 电子密度
  • 作者单位:北京印刷学院,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴,102600
  • 母体文献:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
  • 会议名称:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
  • 会议地点:武汉
  • 主办单位:中国机械工程学会
  • 语种:chi
摘要
在大气压条件下,基于多离子流体力学模型,采用数值计算方法研究了射频(RF)放电过程中电子密度、电子能量密度、氮与氧带电粒子密度等在相互作用过程中的时空演化特征。模拟了放电极板间的电子、离子分布,分析了粒子间的碰撞效应等,讨论了各种粒子成分数密度随时间和空间的变化规律。

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