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磨料射流抛光中各工艺参数对材料去除率及抛光区形貌的影响
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摘要
本文首先介绍了磨料射流抛光的工作原理,并从试验出发,针对射流抛光技术的主要工艺参数,诸如入射角度、射流速度、入射距离、抛光液浓度以及工作时间等对抛光特性的影响进行了试验研究。分析了各工艺参数与抛光效率和抛光点形貌的影响关系,从而获得了最佳工艺参数。在此基础上,对一平面K9光学玻璃进行了抛光试验,抛光速率约为30nm/min,抛光区粗糙度优于2.5nm,试验结粜对于磨料射流抛光加工的进一步研究奠定了试验基础。

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