磁控溅射复合沉积在Ti合金上的不同薄膜润湿性能研究

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• 作者：马国佳林国强王明娥张林孙刚王达望
• 会议时间：2012-09-13
• 关键词：钛合金 ; 薄膜制备 ; 磁控溅射复合沉积技术 ; 润湿性能 ; 表面形貌
• 作者单位：马国佳(大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连116024;北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024)林国强,王明娥,张林(大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连116024)孙刚,王达望(北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室,北京100024)
• 母体文献：第四届高能束加工技术国际学术会议论文集
• 会议名称：第四届高能束加工技术国际学术会议
• 会议地点：青岛
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：TB3;TG1

摘要

通过磁控溅射复合沉积方法在钛合金基体上制备了不同表面能和粗糙度的薄膜.主要研究了元素掺杂的DLC薄膜和具有仿生表面形貌的Cu膜.通过接触角测试和相应表面能计算研究了这些薄膜的润湿性能.通过XPS表征了掺杂DLC薄膜的化学键结构,通过AFM和SEM表征了Cu膜表面形貌.结果表明DLC膜中的元素掺杂减小了表面能,增强了薄膜的疏水性能,尤其是F元素的掺杂.由于F元素的掺杂使得DLC膜的接触角从65°增加到159°.材料表面形貌在其润湿性能上起着重要作用,通过仿生形貌制造,沉积到Al2O3的Cu膜水接触角从89°增加到141.7°.