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浅析人造金刚石合成工艺曲线图
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摘要
本文分析了人造金刚石合成工艺曲线图中的分段升压的意义,讨论了各工艺参数(暂停时间,加热启动压力,台阶功率,台阶压力(一次暂压),二次暂压,生长时间等)对合成高品级金刚石的影响。研究结果表明:工艺参数暂停时间,加热启动压力,台阶功率,台阶压力(一次暂压),二次暂压均对金刚石成核及晶型有明显地影响,生长时间则影响金刚石的粒径大小。

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