摘要
本文先采用机械化学法合成了光伏材料CuInSe2(CIS)化合物粉末,然后以此为镀料,通过真空蒸镀法在玻璃甚底上制备了CuInSe2薄膜。使用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)等方法,研究了CIS粉末及薄膜的结构,形貌与成分。采用分光光度计检测了薄膜的透过率,并计算了带隙。采用四探针测试仪检测薄膜的方块电阻。结果表明:采用机械化学法可以得到黄铜矿型的CIS粉末,粒径小于10μm。采用不同的电流蒸镀该粉末得到贫Cu的CIS薄膜,退火后得到了多晶薄膜,其光吸收系数约为10 5cm-1,带隙在1.76-2.08eV范围内。