Mechanical Properties and Interface Characteristics of Nanoporous Low-k Materials
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- 作者：Lina Si ; Dan Guo ; Guoxin Xie ; Jianbin Luo
- 刊名：ACS Applied Materials & Interfaces
- 出版年：2014
- 出版时间：August 27, 2014
- 年：2014
- 卷：6
- 期：16
- 页码：13850-13858
- 全文大小：629K
- ISSN：1944-8252
文摘
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