利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能

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• 出版年：2005
• 作者：李冬梅；王旭波；潘峰
• 单位1：清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室
• 单位2：新疆大学化学化工学院
• 出生年：1969
• 学历：博士
• 职称：副教授
• 语种：中文
• 作者关键词：Al-Mo薄膜；Ti；过渡层；附着力；声表面波
• 起始页：742
• 总页数：5
• 经费资助：国家高技术（863）计划课题（2002AA325040）和教育部重大科技项目（0303）
• 刊名：稀有金属
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1977
• 主管单位：中国有色金属工业协会
• 主办单位：北京有色金属研究总院
• 主编：屠海令
• 地址：北京新街口外大街2号
• 邮编：100088
• 电子信箱：xxsf@grinm.com
• 网址：http://www.grinm.com.cn
• 卷：29
• 期：5
• 期刊索取号：P755.06 709-1
• 数据库收录：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊；美国化学文摘（CA）源期刊；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库源期刊；中国物理学文献数据库原期刊
• 核心期刊：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊

摘要

纯铝薄膜以其低声阻抗特性被广泛应用于声表面波（SAW）器件的制作。随着通讯频率的不断提高，对SAW器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力提出了越来越高的要求。采用少量易于反应离子刻蚀的Mo元素掺杂来改善Al合金的抗电迁移和功率承受力，并以数纳米的Ti过渡层增强Al-Mo合金薄膜的取向性。结果表明：Ti/Al-Mo薄膜表现出强（111）织构，与纯Al薄膜相比，晶粒明显细化且致密均匀，临界载荷大大增加，与基体的附着力显著增强，并具有良好的刻蚀性能。