ITO薄膜的微观组织结构与光电性能研究

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• 出版年：2007
• 作者：曾胜男；刘家祥；张楠
• 单位1：北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室
• 出生年：1982
• 学历：硕士生
• 语种：中文
• 作者关键词：ITO前驱物浆料；溶胶-凝胶法；微观组织结构；光电性能
• 起始页：1861
• 总页数：4
• 经费资助：国家高技术研究发展计划（“863”计划）基金资助项目（2004AA303542）
• 刊名：稀有金属材料与工程
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
• 主编：殷为宏
• 地址：北京市东黄城根北街16号
• 邮编：100717
• 电子信箱：rmme@c-nin.com
• 网址：http://www.c-nin.com
• 卷：36
• 期：10
• 期刊索取号：P822.06 141-1
• 数据库收录：国家重点学术期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业；优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊(SCI Expanded®，Research Alcrt®，Materials Science Citation Indcx®)；美国工程索引(EI)文献源期刊；美国化学文摘(CA)文献源期刊；英国科学文摘(I
• 核心期刊：中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊

摘要

以金属铟和结晶四氯化锡为原料，采用溶胶-凝胶工艺，用浸渍提拉法在石英玻璃基体上制备ITO透明导电薄膜。采用XRD，AFM，四探针电阻率仪，紫外分光光度计对薄膜的晶型结构，表面形貌，方电阻和透光率进行了测定和分析，研究了热处理温度和提拉层数对薄膜光电性能的影响。结果表明：随着热处理温度的升高，薄膜的方电阻显著降低，透光率也不断增大，但是当后处理温度大于750℃时，透光率略有降低，方电阻仍然降低。